先进制造技术激光加工技术课件.pdfVIP

一、激光加工系统的组成(3) 光泵是使工作物质发生粒子反 转产生受激辐射的激励光源， 此光泵的发射光谱应与工作物质 的吸收光谱相匹配。常用的光泵 有脉冲氙灯和氪灯，脉冲氙灯的 发光强度和频率较高，适用于脉 冲工作的固体激光器，而氪灯的 发光光谱能与YAG 的吸收光谱很 好匹配，是YAG连续激光器的理 想光泵。为改善照射的均匀性， 光泵可用双灯（如图1所示的件3 有上、下两个）、三灯或四灯。 (4) 聚光器罩在光泵的外围，它是把光泵发生的光有效地、 均匀地集中到工作物质上。聚光器中常用的是圆柱聚 光器和椭圆聚光器，也有球形、椭球和紧包形的聚光 器。其要求为聚光均匀、散热好、结构简单、内壁反 射率高，表面粗糙度Rα0.04μm以下，通常聚光效率 达80 ％。 谐振腔是光学反馈元件，它的作用是为光放大介质产 生光振荡。其类型对激光输出能量和发散角有很大影 响，常用的平行平面谐振腔由图1中反射镜1与4组成， 谐振腔的长度为激光半波长的整倍数，反射镜平行度 ＜10。 一、激光加工系统的组成(5)