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第一节 电子光学基础
电子光学是研究带电粒子(电子、离子)在电场
和磁场中运动,特别是在电场和磁场中偏转、聚焦和
成像规律的一门科学。它与几何光学有很多相似之处:
(1)几何光学是利用透镜使光线聚焦成像,而电子
光学则利用电、磁场使电子束聚焦成像,电、磁场起
着透镜的作用。
(2)几何光学中,利用旋转对称面作为折射面,而
电子光学系统中,是利用旋转对称的电、磁场产生的
等位面作为折射面。因此涉及的电子光学主要是研究
电子在旋转对称电、磁场中的运动规律。
1
(3)电子光学可仿照几何光学把电子运动轨
迹看成射线,并由此引入一系列的几何光学
参数来表征电子透镜对于电子射线的聚焦成
像作用。
但应注意电镜中的电子光学:
(1)是真空中的静场,即电、磁场与时间
无关,且处于真空中。
(2)入射的电子束轨迹必须满足离轴条件:
2
3
一、光学显微镜的局限性
光学显微镜的“分辨本领”是表示一个光学系统刚
能清楚地分开两个物点间的最小距离,距离越小,分
辨能力越高。
阿贝根据衍射理论导出的光学透镜分辨能力的公
式:
nsina称为数值孔径,用N. A表示。
由(3)式可知,透镜的分辨率r值与N. A成反比,
与 λ 值成正比,r值越小,分辨本领越高。 4
当用可见光作光源,采用组合透镜、大
的孔径角、高折射率介质浸没物镜时, N. A
值可提高到1.6。最佳情况的透镜分辨极限是
200nm。
要进一步提高显微镜的分辨能力,就必
须用更短波长的照明源。X射线波长很短,在
0.05~ 10nm范围,但其聚焦成像较为困难。
电子束流具有波动性,且波长比可见光短
得多。显然,如果用电子束做照明源制成电
子显微镜将具有更高的分辨本领。
5
二、电子的波动性及其波长
二、电子的波动性及其波长
1924年,德布罗意提出了运动着的微观粒子也
具有波粒二象性的假说。这个物质波的频率和波
长与能量和动量之间的关系如下:
由此可得德布罗意波波长 λ :
运动中的电子也必伴随着一个波—— 电子波。
6
一个初速度为零的电子,在电场中从电位为
零的点受到电位为V 的作用,其获得的动能和运
动速 v之间的关系为:
当加速电压较低时,vc(光速) ,电子质量近
似于静止质量m ,由(6 )、(7 )式整理得:
0
电子波长与其加速电压平方根成反比,加速电压越
高,电子波长越短。
7
当加速电压较高时,电子运动速度增大,
电子质量也随之增大,必须用相对论进行校正:
加速电压( 电子波长( 加速电压( 电子波长(
kV ) nm ) kV ) nm )
1 0.0388 80 0.00418
10 0.0122
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