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2023-11-22 发布于四川
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半导体测量设备.pdf

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一种半导体测量设备包括：照明单元，其被配置为提供包括具有不同波长的线性偏振光束的照明光；光学单元，其包括被配置为允许照明光入射于样本上的物镜，光学单元被配置为传输当照明光被从样本反射时生成的反射光；自干涉发生器，其被配置为针对每个波长使从光学单元传输的反射光自干涉并且将反射光传输至第一图像传感器；以及控制器。控制器被配置为处理由第一图像传感器输出的测量图像，以针对每个波长将测量图像划分为表示反射光的偏振分量的强度比的第一图像和表示反射光的偏振分量的相位差的第二图像。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091503 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310570132.7 (22)申请日 2023.05.19 (30)优先权数据 10-2022-0061906