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一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置.pdf

    本发明公开了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，吸附鼓包括外鼓、内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，外鼓与旋转电机相连接，轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机；径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆。采用上述结构的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113534620 A (43)申请公布日 2021.10.22 (21)申请号 202110833727.8 (22)申请日 2021.07.23 (71)申请人 湖南印之明智能制造有限公司

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