微型气相色谱柱芯片研究.pdfVIP

学校代码：10259 学 号：196062141 密 级：公开 硕士学位论文 （专业学位） 题 目： 微型气相色谱柱芯片研究 英文题目：Research of Micro Gas Chromatograph Column Chip 专业领域： 化学工程 学 院： 化学与环境工程 姓 名： 张海燕 校内导师： 郑丹 企业导师： 于海涛 2021 年 03 月 31 日 万方数据 声 明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下,独立进行 研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容外，本论文不包含任何其 他个人或集体已经公开发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要 贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。 本声明的法律责任由本人承担。 学位论文作者签名： 2021 年 03 月 31 日 万方数据 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学 位论文保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版。允许论 文被查阅和借阅。本人授权上海应用技术大学可以将本学位论文的全部内 容或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制 手段保存和汇编本学位论文。 保 密 年 □ 本学位论文属于 不保密  （必须在相应处打√，否则按不保密处理） 不 保 密 □ 学位论文作者签名： 指导教师签名： 2021 年 03 月 31 日 2021 年 03 月 31 日 万方数据 上海应用技术大学 硕士学位论文 第Ⅰ页 微型气相色谱柱芯片研究 摘要 微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速的定性和定量分析。微型 气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一，决定了其分离性能的好坏。 MEMS （Micro-electro-mechanical systems ）技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供 了有效的加工技术，可以获