具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器[发明专利].pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110307878 A (43)申请公布日 2019.10.08 (21)申请号 201910143684.3 G01F 1/86(2006.01) (22)申请日 2019.02.25 (30)优先权数据 15/926,647 2018.03.20 US (71)申请人 霍尼韦尔国际公司 地址 美国新泽西州 (72)发明人 理查德 C 索伦森　 · · 德里克 吉勒斯　威廉 胡佛　 · · 杰米 斯皮尔德里奇　 · 伊恩 本特利　 · (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 代理人 吴超　王丽辉 (51)Int.Cl. G01F 15/04(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图15页 (54)发明名称 具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器 (57)摘要 本发明题为“具有绝对压力补偿的空气质量 流量传感器”。本发明公开了一种质量流量传感 器组件，该质量流量传感器组件包含绝对压力传 感器以便经由电子器件补偿流过通道的流体的 质量流量的输出读数。流量传感器和压力传感器 可彼此紧邻地构建在通道中。可使用MEMS技术制 造包括绝对压力传感器的质量流量传感器组件。 A 8 7 8 7 0 3 0 1 1 N C CN 110307878 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种流量传感器组件，包括： 外壳，所述外壳具有通道； 输入端口，所述输入端口连接到所述通道的第一端； 输出端口，所述输出端口连接到所述通道的第二端； 质量流量传感器，所述质量流量传感器位于所述通道中； 绝对压力传感器，所述绝对压力传感器具有一定构型，使得所述绝对压力传感器可检 测所述腔体中的绝对压力；和 电子器件模块，所述电子器件模块连接到所述绝对压力传感器和所述质量流量传感 器；并且 其中： 将来自所述质量流量传感器的质量流速信号发送到所述电子器件； 所述电子器件根据所述流速信号来提供所述通道中的流体的质量流速的指示； 将来自所述绝对压力传感器的绝对压力信号发送到所述电子器件；并且 所述电子器件根据所述绝对压力信号来补偿所述质量流速的所述指示。 2.根据权利要求1所述的组件，其中： 将所述质量流量传感器和所述压力传感器集成为单个单元；以及 利用MEMS制造技术将所述外壳和所述单个单元制造为一个或多个晶粒。 3.根据权利要求1所述的组件，其中： 所述通道在沿着直线路径从所述通道的所述第一端到所述通道的所述第二端的方向 上延伸；并且 所述通道表现为从所述通道的所述第一端到所述通道的所述第二端具有一个或多个 弯曲的迂回路径；或者 所述质量流量传感器包括第一热传感器和第二热传感器；并且 温度数据从所述第一热传感器和所述第二热传感器传送到所述电子器件。 4.根据权利要求3所述的组件，其中： 所述电子器件根据所述第一热传感器和所述第二热传感器的温度信号来计算所述流 体的所述质量流速；或者 所述质量流量传感器还在所述第一