微细加工技术课件.pptxVIP

其它微细加工技术;一、化学刻蚀

;侧面刻蚀”或“钻蚀”;由于存在侧面刻蚀，使刻蚀成的窗口常比光刻胶窗口尺寸大些。为了修正，就要从设计值中减去刻蚀余量。刻蚀余量的大小与被加工材料、刻蚀液的种类及被加工材料的厚度等许多因素有关，须用实验来确定。侧面刻蚀越小，刻蚀系数越大，则刻蚀部分的侧面越陡，因此产品尺寸的精度就越稳定。;双面刻蚀;刻蚀的方式对于刻蚀系数有很大的影响。静止的刻蚀液，因循环不善，故反应也迟钝。如果用一定压力进行喷吹，则因反应面上刻蚀液的供给状况获得改善而使刻蚀的速度提高，则刻蚀系数也相应增加。因此：最近广泛使用一种用泵加压，使刻蚀液以喷嘴喷出的喷雾刻蚀机。在这类机械中加工材料有垂直夹持的，也有水平夹持的，两者都能从两面喷射刻蚀液，而且喷射时喷嘴作扇状摆动，以便对全部加工面进行均匀的刻蚀。;2．电解化学刻蚀;3．剥膜与精整

;二、化学抛光

;;设金属板M浸泡在抛光液中。由于材料的不均匀会引起局部电位的高低不一，从而形成局部短路的微电池，使阳极发生局部溶解。在这种情况下，被放出来的电子通过金属内部流到阴极，参与阴极反应(图中的I)。若把金属板通过外接电源和另外的金属板C靠近接在一起，并升高阳极M的电位，则M中的局部阴极区便逐渐减少(图中的II)，直至完全消失(图中的III)。这时，金属板M作为单一阳极使用的状况就相当于电解抛光。无论是一般的化学抛光或是电解抛光，由