超洁净环境下晶圆转运机械臂产出颗粒检测系统及方法.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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本发明属于半导体传送机械臂技术领域，本发明公开了超洁净环境下晶圆转运机械臂产出颗粒检测系统及方法,包括：收集历史晶圆转运数据,将历史晶圆转运特征数据处理得到晶圆转运表现数据；将晶圆转运表现数据和产出颗粒数据结合获取机械颗粒函数，采集历史机械臂基座振动数据和对应产生的颗粒数据,并标记编号,训练出预测模型；系统实时检测工作间的振动频率,判断当前是否属共振状态,如果是,则输入实时基座振动数据,通过训练的模型直接输出预测的颗粒产出数量；如果为正常状态,则将实时的机械臂运动学数据代入机械颗粒函数,计算产出

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117251716A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311533733.7

(22)申请日2023.11.17

(71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司

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