基于电子散斑干涉的应用研究.docxVIP

基于电子散斑干涉的应用研究

摘要

电子散斑干涉技术(ESPI)是基于表面产生激光散斑的光学物理基础上发展起来的一种全场非接触式位移测量技术。自20世纪70年代初问世以来，ESPI已逐渐发展成为不同的光学设计，并已应用于一系列的工程科学中。20世纪90年代之后，电子散斑干涉技术继续发展，在干涉仪中引入了新的激光和光学技术，进一步优化并扩大了该技术的潜在适用性。

在实现ESPI的相移技术时，引入了已知幅度的相位调制，得到了一系列的强度图，从而计算出包裹的相图，然后可以通过相位展开技术获得感兴趣的位移数据来处理相图。[11]影响上述方法实现的最严重瓶颈是从噪声相位图中恢复错误的数据。为了克服这一瓶