GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境　第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.82021ISO14644-82013

代替/—

GBT25915.82010

洁净室及相关受控环境

:

第部分按化学物浓度划分空气洁净度

8

()等级

ACC

—

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:()

Part8ClassificationofaircleanlinessbchemicalconcentrationACC

y

(:,)

ISO14644-82013IDT

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT25915.82021ISO14644-82013

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4分级………………………3

5合格性的证明……………5

()………………………

附录A资料性影响ACC的因素6

()……………

附录B资料性常见污染物9

()…………

附录C资料性常用测量方法12

()