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掺铝氧化锌薄膜及纳米棒阵列的制备与表征的开题报告

1.研究背景

氧化锌具有广泛的应用前景，如透明导电薄膜、发光二极管等。而掺杂的氧化锌材料具有更优异的性能，其中掺铝氧化锌（Al-dopedZnO）材料的研究较为广泛。另外，氧化锌纳米棒阵列具有高表面积、光学与电学性质等优异特点，近年来引起了研究者的广泛关注。本研究旨在研究掺铝氧化锌薄膜及纳米棒阵列的制备与表征，为其在透明导电薄膜、光电器件等方面的应用提供实验基础。

2.研究目的与内容

（1）掌握制备掺铝氧化锌薄膜的工艺条件，研究其物理化学性质及组成结构。采用射频磁控溅射法制备掺铝氧化锌薄膜，并通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜等手段表征其结构、形貌及成分。

（2）制备氧化锌纳米棒阵列，研究其光学、电学特性及表面等离子体共振性质。采用水热合成法制备氧化锌纳米棒阵列，并采用紫外可见光谱仪、原子力显微镜等手段表征其性能。

（3）制备掺铝氧化锌纳米棒阵列，研究其光电性能。将掺铝氧化锌纳米棒阵列制备，并通过测试其光电转换效率等参数，评估其在光电器件中的应用前景。

3.研究方法

本研究所采用的研究方法包括：

（1）射频磁控溅射法制备掺铝氧化锌薄膜，采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等手段表征其成分结构和形貌。

（2）水热法制备氧化锌纳米棒阵列，采用紫外可见光谱仪、原子力显微镜等手段表征其光学、电学性能及表面等离子体共振性质。

（3）电子束蒸发法制备掺铝氧化锌纳米棒阵列，通过测试其光电转换效率等参数，评估其在光电器件中的应用前景。

4.预期结果

预期将成功制备掺铝氧化锌薄膜及氧化锌纳米棒阵列，并通过实验手段表征其结构、形貌及光电性能，在透明导电薄膜、发光二极管等方面的应用具有较好的前景。同时，预期在掺铝氧化锌纳米棒阵列制备方面获得新的实验结果，为氧化物半导体材料在光电器件中的应用提供新思路。