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一种晶圆金属含量的检测方法.pdfVIP

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  • 2024-01-27 发布于四川
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一种晶圆金属含量的检测方法.pdf

    本发明提供一种晶圆金属含量的检测方法，包括以下步骤：对晶圆进行第一次称重，刻蚀所述晶圆，对所述晶圆进行第二次称重，提取金属离子，检测所述金属离子含量。本发明的有益效果是采用晶圆刻蚀的方法，对晶圆的近表面进行刻蚀，使得晶圆内部近表面金属离子的含量能够在晶圆表面进行表征，实现了对晶圆内部金属含量的检测，节省了检测时间，提高了检测精度和检测效率，保证了成品的质量。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117457517A

    (43)申请公布日2024.01.26

    (21)申请号202311286380.5

    (22)申请日2023.10.07

    (71)申请人天津中环领先材料技术有限公司

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