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采用MEMS技术研制硅脉象传感器的开题报告

一、选题背景及意义

随着科技的不断进步和人们生活的不断提高，医学领域的技术也在不断更新，为人们的生命安全和身体健康保驾护航，其中脉象传感器也是医学领域中的一个重要组成部分。脉搏是人体重要的生理信号之一，其脉象信息具有丰富的生理和病理信息。传统的脉诊检测方法需要经过专业医师的亲手测量，操作时间长、难度大、准确率低、效率也不高，限制了医生的诊断速度和效率。因此，开发一种高精度、小型化、集成化、无创测量脉搏的传感器设备，可以用于监测患者的健康状况，对于推动现代化检测技术的发展具有重要意义。此外，该技术还可用于运动健康监测、家庭保健等领域，有广阔的市场前景。

本课题拟采用MEMS（微电子机械系统）技术研制硅脉象传感器。MEMS技术是集微机电、光学、电子、计算机等多种技术于一体的跨学科领域，其具有微型化、低功耗、高信噪比、高可靠性等优点，适合用于开发小型化、高精度、低功耗的传感器，并且具有成本低廉、高产量等优良特性，非常适用于现代微型化、集成化的科学研究和大规模生产。

二、研究内容及方法

本课题将研究并实现基于MEMS技术的硅脉象传感器，主要包括以下几个方面：

1、硅薄膜制备技术：采用微加工技术在单晶硅片上制备硅薄膜。

2、传感器结构设计：根据脉搏检测原理，设计出合理的传感器结构，包括硅薄膜的位置、形状、大小等参数。

3、传感器制作工艺：采用光刻技术、湿法腐蚀技术、等离子刻蚀技术等制作工艺将传感器结构进行加工，并进行传感器微观结构的表征与分析。

4、信号获取电路设计：设计与传感器相匹配的信号获取电路，对采集到的信号进行微调和放大，以提高其精度和灵敏度。

三、研究计划及预期成果

1、2021年3月-5月：对MEMS技术进行深入学习并确定硅脉象传感器的设计方案；

2、2021年6月-8月：开展硅薄膜制备、传感器结构设计和传感器制作工艺的研究；

3、2021年9月-11月：完成硅脉象传感器组装和信号获取电路的设计；

4、2022年1月-3月：对硅脉象传感器进行实验验证及精度测试，并对研究成果进行分析和总结。

预期成果：成功研制出高精度的硅脉象传感器，并具备批量生产能力，为推动我国生物医学仪器及人体信号智能检测技术的研究及产业化发展做出贡献。