《钼合金靶材》编制说明（送审稿）.docx

行业标准《钼合金靶材》编制说明(送审稿)

一、工作简况

(一)任务来源

根据2022年4月29日，工业和信息化部办公厅《关于印发2022年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》(工信厅科函[2022]94号)的要求，行业标准《钼合金靶材》制订项目由全国有色金属标准化技术委员会归口，计划编号：2022-0053T-YS,项目周期为24个月，完成年限为2024年4月底，由金堆城钼业股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、洛阳高新四丰电子材料有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、西安瑞福莱钨钼有限公司等进行编制。

(二)背景

本标准修订符合《国家标准化体系建设发展规划(2016-2020年)》(国办发[2015]89号),三、重点领域，(一)加强经济建设标准化，支撑转型升级，专栏2工业标准化重点，材料中完善钢铁、有色金属等原材料工业标准，加快标准制修订工作，充分发挥标准上下游协同作用的要求。

高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能，使得钼合金靶材的应用越来越广泛。如平面显示器尺寸大型化以及4K以上高清显示器的发展使得G6以上高世代线液晶面板生产线开始用大规格的钼铌靶材来替代纯钼靶材以解决制程中的刻蚀等问题。尤其是电子及信息产业、平面显示和太阳能电池等高技术产业的迅猛发展，对钼合金的需求量越来越大。到2021年全球钼合金靶材的市场需求量达到4000吨左右。随着平面显示器LCD行业仍将保持一个增长阶段，太阳能电池行业的迅猛发展，将极大地带动了钼合金溅射靶材的市场需求量。

目前该领域主要被国外钼加工企业如奥地利的普兰西(Plansee)、德国的世泰科(H.CStarck)和贺力氏(Heraeus)、日本Tosho公司、日立金属(HitachMetal)等垄断。国内少数企业如金堆城钼业股份有限公司、洛阳科威钨钼有限公司等也掌握了该产品的生产技术，均处于批量化生产上升阶段，产品的未来发展趋势良好。钼合金靶材国内外多家企业能生产，但各企业的钼合金靶材成分、纯度、制作工艺、产品形态各不相同，且没有形成标准规范，导致产品质量参差不齐，导致客户选用钼合金靶材产品时无法预判产品的使用性能，因此制订统一规范的钼合金靶材行业标准不仅可以达到对其生产、使用、贮存和运输进行规范的目的，而且可使下游客户的需求更加明确清晰。该项标准的制定必将为钼合金市场的规范运营提出强有力的保障。

同时，本标准的制定满足钼金属材料由原料供应商向终端产品供应商发展的客观需求，而且为TFT-LCD(薄膜半导体管-液晶显示器)、等离子显示屏、太阳能电池、隔热屏等领域的材料选用提供质量规范，对引领钼金属加工业及其相关产业的发展，具有重要的指导意义。此外，奥地利、日本、美国、德国、中国等钼合金靶材的主要生产、使用区域尚未形成规范的行业标准，也未发现相关专利报道。因此，本标准不会与其他国内外标准形成技术冲突和知识产权纠纷。

目前，国内钼合金靶材的生产尚处于初级阶段，还没有相应的行业标准，各企业生产的钼合金靶材产品标准不同，型号、规格等差异较大，导致客户选择产品没有针对性，产品使用效果差异很大，很大程度制约了钼合金靶材的产业化生产。因此，需要制定相关的标准，促进现有产品质量的提高，确保钼合金靶材的检测规范统一，符合统一标准。

(三)主要参加单位和工作组成员及其所作的工作

3.1主要参加单位情况

标准主编单位金堆城钼业股份有限公司在标准的编制过程中，充分收集、认真研究国内外相关技术标准资料，结合生产实际条件和本标准方法的技术特点，负责项目的总体实施，带领编制组成员单位到现场了解实际情况，收集实测数据，编制实测数据统计表，认真细致

修改标准文本，征求多家企业意见，带领编制组完成标准的编制工作。

3.2主要工作成员所负责的工作情况

本标准主要起草人及工作职责见表1。

表1主要起草人及工作职责

起草人

工作职责

刘仁智

负责标准中相关技术要求内容的编写及把关

XXX

负责试验方案确定，标准编写材料的收集

XXX

负责标准的工作指导、标准的编写及组织协调

XXX

负责标准中相关技术要求内容的审验

XXX

负责提供企业的现场调研及配合标准编写开展现场试验验证及数据积累

XXX

提供理论支撑，并对国内外钼管材标准对比提供支持

XXX

提供第三方的检测服务，指导企业现场检验的规范化并编写标准试验验证数据的对比分析

XXX

提供技术指导

(四)工作过程

4.1预研阶段

2020年10月至2021年8月，由金堆城钼业股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司对国内钼合金靶材的生产现状进行了现场调