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热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的任务书

题目：热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜

任务目的：

1.理解热丝化学气相沉积法在纳米金刚石薄膜制备中的应用；

2.熟悉纳米金刚石薄膜的制备方法及其特点；

3.掌握制备纳米金刚石薄膜的具体操作步骤，并对制备过程中的关键工艺参数进行控制。

任务要求：

1.查阅相关文献，了解热丝化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的原理和特点；

2.设计实验方案，包括制备条件的确定、试样制备及表征方法的选择；

3.进行实验制备纳米金刚石薄膜，在制备过程中进行关键工艺参数的控制；

4.对制备的纳米金刚石薄膜进行显微镜分析、X射线衍射分析、拉曼光谱分析等表征；

5.分析实验结果，总结纳米金刚石薄膜的制备优缺点及存在的问题，并提出改进措施。

任务时间：

1个月

参考文献：

1.AucielloO,etal.Synthesis,microstructure,andpropertiesofdensepolycrystallinediamondfilmsgrownbymicrowaveplasmachemicalvapordeposition(CVD).MRSProceedings,1992,283.

2.贾媛媛,路静.热丝化学气相沉积制备的纳米金刚石薄膜[J].功能材料,2014,45(4