电子教材 4.2-2 光栅位移传感器原理及应用.docVIP

《传感器与检测技术》—电子教材

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光栅位移传感器原理及应用

一、光栅的概念

由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图4-9所示。用玻璃制成的光栅称为透射光，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的：用不锈钢制成的光船称为反射式光栅。光栅的刻痕密度一般为每毫米10、25、50、100、250线。刻痕之间的距离称为栅距W。设刻痕a，狭缝宽度为b，则W=a+b，一般情况下取a=b。

图4-9光栅

二、光栅位移传感器的工作原理——莫尔条纹

莫尔条纹——如果把两块栅距W相等的光面平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称为莫尔条纹，如图4-10所示莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带，它由一系列四棱形图案如图4-10中d-d线区所示。f-f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。

图4-10莫尔条纹

莫尔条纹有两个重要的特性：

（1）位移的方同性当指示光栅不动，主光栅左右平移时，莫尔条纹将沿着指示光的方向上下移动，查看莫尔条纹上下移动的方向。即可确定主光栅左右移动的方向。

（2）放大作用莫尔条纹有位移的放大作用。当主光栅沿着与刻线垂直的方向移动一个栅距W时，莫尔条纹移动一个条纹间距B。当两个等距光栅的夹角θ较小时，主光栅移动一个栅距W，莫尔条纹移动KW距离，K为莫尔条的放大系数，可由下式确定，即

（4-6）

例如：每毫米有50根线的光栅，W=0.02mm，当两光栅间的夹角θ==0.1°(0.0017453rad)时，莫尔条纹间距B=11.459mm，K==573倍。当θ=0.5°，B≈115W。由此看出，两个光栅面夹角越小，莫尔条纹的放大倍数越大，这样就可以把肉眼看不见的光栅位移变成清晰看见的莫尔条纹移动，可以通过测量莫尔条纹的移动来测量光的位移，从而实现高灵敏的位移测量。

三、光栅位移传感器的结构

光位移传感器的结构原理及外形如图4-11所示。它主要由主光栅、指示光栅、光源和光电器件等组成，其中主光栅和被测物体相连，它随被测物体的直线位移而产生移动。当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随之产生位移，若用光电器件记录莫尔条纹通过某点的数目，便可知主光栅移动的距离，也就测得了被测物体的位移量。利用上述原理，通过多个光敏器件对莫尔条纹信号的内插细分，便可检测出比光栅距还小的位移量及被测物体的移动方向。

A.光栅位移传感器的结构原理图

B.光栅位移传感器外形图

图4-11光栅位移传感器的结构原理及外形图

四、光栅位移传感器的特点及应用

由于莫尔条纹是明暗交替的，当莫尔条纹上下移动时，只要用光敏元件检测出来明、暗的变化，就可得知位移的大小，实现测量结果的二值化。另外莫尔条纹是由光的大量刻线形成的，对刻线误差有平均作用，能在很大程度上消除刻线不均匀引起的误差。

由于光栅位移传感器测量精度高(分辨率为0.1μm)，动态测量范围广(0~1000mm)，可进行无接触测量，而且容易实现系统的自动化和数字化，因而在机械工业中得到了广泛的应用，特别是在量具、数控机床的闭环反馈控制、工作主机的坐标测量等方面，光位移传感器都起着重要的作用。图4-12所示为光栅位移传感器在机床加工方面的应用实例。

图4-12光栅位移传感器在机床加工方面的应用