电子教材 4.2-3 磁栅位移传感器原理及应用.docVIP

《传感器与检测技术》—电子教材

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磁栅位移传感器原理及应用

一、磁栅的概念

磁栅是一种有磁化信息的标尺，它是在非磁性体的平整表面上镀一层约0.02mm厚的Ni-Co-P磁性薄膜，并用录音磁头沿长度方向按一定的激光波长A录上磁性刻度线而构成的，因此又把磁栅称为磁尺。

录制磁信息时，要使磁尺固定，磁头根据来自激光波长的基准信号，以一定的速度在其长度方向上边运行边流过定频率的相等电流，这样，就在磁尺上记录了相等节距(W=A)的磁化信息而形成磁栅。

磁栅录制后的磁化结构相当于个个小磁铁按NS、SN、NS…的状态排列起来，如图4-13所示。因此在磁而形成磁栅。磁栅录制后的磁化结构相当于一个个小磁铁按NS、SN、NS…的状态排列起来，如图4-13所示。因此在磁栅上的磁场强度呈周期性地变化，并在N-N或S-S相接处为最大处。

图4-13磁栅的基本结构

二、磁栅的种类

磁栅的种类可分为单面型直线磁栅、同轴型直线磁栅和旋转型磁栅等。单面型直线磁栅主要用于直线位移测量，同轴型直线磁栅和旋转型磁栅主要用于角位移测量。

三、磁位移传感器结构和工作原理

磁栅位移传感器由磁尺(磁栅)、磁头和检测电路组成。其工作原理是电磁感应原理，当线圈在一个周期性磁体表面附近匀速运动时，线圈上就会产生不断变化的感应电动势。感应电动势的大小，既和线圈的运动速度有关，还和磁性体与线圈接触时的磁性大小及变化率有关。根据感应动势的变化情况，就可获得线圈与磁体相对位置和运动的信息。磁尺是检测位移的基准尺，磁用来读取磁尺上的记录信号。按读取方式不同，磁头分为动态磁头和静态磁头两种。

(1)动态磁头动态磁头上只有一个输出绕组，只有当磁头和磁尺相对运动时才有信号输出，因此又称动态磁头为速度响应磁头。运动速度不同，输出信号的大小和周期也不同，因此，对运动速度不均匀的部件，或时走时停的机床，不宜采用动态磁头进行量。但动态磁头测量位移较简单，磁头输出为正弦信号，在N、N处达到正向峰值，在S、S处为负向峰值，如图4-14所示，通过计数磁尺的磁节距个数(或正弦波周期个数)，就可知道磁头与磁尺间的相对位移量。

x=nW（4-7）

式中，n是正弦波周期个数(磁节距个数)；W是磁节距。

图4-14动态磁头输出波形与磁栅位置关系

(2)静态磁头静态磁头是一种调制式磁头，磁头上有两个绕组，一个是激励绕组，加以激励电源电压，另一个是输出绕组。即使在磁头与磁尺之间处于相对静止时，也会因为有交变激励信号使输出绕组有感应电压信号输出。如图4-15所示，静态磁头和磁尺之间有相对运动时，输出绕组产生一个新的感应电压信号输出，它作为包络，调制在原感应电压信号频率上。该电压随磁尺磁场强度周期的变化而变化，从而将位移量转换为电信号输出。这提高了测量准确度。检测电路主要用来供给磁头激励电压和把磁头检测到的信号转换为脉冲信号输出并以数字形式显示出来。磁头总的输出信号为

（4-8）

可见输出信号是一个幅值不变，相位随磁头与磁栅相对位置变化而变化的信号，可用鉴相电路测出该调相信号的相位为，从而测出位移x。

图4-15静态磁头结构及输出波形

四、磁栅位移传感器的应用

磁栅位移传感器和其他类型的位移传感器相比，具有结构简单，使用方便，动态范围大(1~20m)和磁信号可以重新录制等优点，其缺点是需要屏蔽和防尘。磁栅位移传感器主要用于大型机床和精密机床作为位置或位移量的检测元件，其行程可达数十米，分辨率优于1μm。图4-16所示为磁栅位移传感器的结构及在机床加工方面的应用实例。

图4-16磁栅位移传感器的结构及在机床加工方面的应用

磁栅位移传感器允许最高工作速度为12m/min，系统的准确度可达0.01mm/m，最小指示值为0.001mm，使用范围为0～40℃，是一种测量大位移的传感器。