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第九章光学传感器

第九章光学传感器

第9章光学传感器

固态传感器是指利用材料的物理性质在外部因

固态传感器是指利用材料的物理性质在外部因

素作用发生变化，这一原理做成的传感器。这类传

素作用发生变化，这一原理做成的传感器。这类传

感器主要以半导体、电介质、铁电体等为敏感材料。

感器主要以半导体、电介质、铁电体等为敏感材料。

与其它传感器相比有以下特点：

与其它传感器相比有以下特点：

1.基于物性变化，无运动部件，结构简单，体

1.基于物性变化，无运动部件，结构简单，体

积小；

积小；

2.动态响应好、且输出为电量；

2.动态响应好、且输出为电量；

3.易于集成化、智能化；

3.易于集成化、智能化；

4.低功耗、安全可靠；

4.低功耗、安全可靠；

主要缺点有：线性度差、温漂大、过载能力差、

主要缺点有：线性度差、温漂大、过载能力差、

性能参数离散性大。

性能参数离散性大。

第9章光学传感器

光