传感器原理及工程应用（第五版）数字式传感器.pptxVIP

数字式传感器

;13.1光栅传感器

光栅传感器主要用于长度和角度的精密测量以及数控系统的位置检测等，在坐标测量仪和数控机床的伺服系统中有着广泛的应用。

光栅按工作原理和用途，可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅是利用光栅的衍射现象，主要用于光谱分析和光波波长的检测。计量光栅则利用光栅的莫尔条纹现象，主要应用于线位移和角位移的检测。;计量光栅按应用场合不同有透射光栅和反射光栅；按用途不同有测量线位移的长光栅和测量角位移的圆光栅；按光栅的表面结构不同有幅值(黑白)光栅和相位(闪耀)光栅。除了上述光栅外，目前还研制了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。本节以黑白透射光栅为例，介绍测量位移的光栅传感器。;13.1.1光栅与莫尔条纹

1.光栅结构及类型

在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹(又称为刻线)，就构成光栅，图13-1为透射光栅示意图。刻画在玻璃尺或金属尺上的光栅称为长光栅，也称为光栅尺，用于测量长度或直线位移，它的刻线互相平行。图13-1(a)是长光栅的栅线示意图，图中a为栅线的宽度(不透光)，b为栅线间宽(透光)，a+b=W称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250条线条。刻线密度由测量精度要求决定，用于精密测量的光栅每毫米为250、500条线条。;刻划在玻璃或金属圆盘上的光栅称为圆光栅，也称为光栅盘，用来测量角度或角位移。圆光栅的参数多使用整圆上刻线数或栅距角γ表示，它是指圆光栅上相邻两条栅线之间的夹角。图13-1(b)为圆光栅栅线示意图。

根据栅线刻划的方向，圆光栅可分为两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心，如图13-2(a)所示；另一种是切向光栅，其全部光栅与一个和光栅盘同心的直径只有零点几到几个毫米的小圆相切，如图13-2(b)所示，切向光栅使用在精度要求比较高的场合。;;;2.莫尔条纹

把两块栅距相等的光栅(光栅1、光栅2)面对面叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个???小的夹角θ，如图13-3所示，这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹。;;由图13-3可见，在d-d线上，两块光栅的栅线重合，透光面积最大，形成条纹的亮带，它是由一系列四棱形图案构成的；在f-f线上，两块光栅的栅线错开，形成条纹的暗带，它是由一些黑色叉线图案组成的。因此莫尔条纹的形成是由两块光栅的遮光和透光效应形成的。两条亮带或暗带之间的距离BH称为莫尔条纹间距，莫尔条纹间距BH与栅距W和两刻线的夹角θ之间的关系为;莫尔条纹具有以下三个方面的特点。

(1)运动对应关系莫尔条纹的移动量和移动方向与两块光栅相对的位移量和位移方向有着严格的对应关系。图中如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动一个栅距时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向下移动一个条纹间距；反之，当光栅1向左移动一个栅距，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向上移动一个条纹间距。因此根据莫尔条纹的移动量和移动方向就可以判定光栅1的位移量和位移方向。;(2)位移的放大作用当光栅每移动一个光栅栅距W时，莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度BH，如果光栅作反向移动，条纹移动方向也相反。当W一定时，两光栅夹角θ越小，莫尔条纹间距BH则越大，这相当于把栅距W放大了1/θ倍。例如θ=0.1°，则1/θ≈573，即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍，这相当于把栅距放大了573倍，说明光栅具有位移放大作用，从而提高了测量的灵敏度。光栅刻线夹角θ可以调节，调节夹角θ可以改变莫尔条纹的间距。;(3)误差的平均效应莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除栅距的局部误差和短周期误差的影响。

13.1.2光栅传感器的组成

光栅传感器是根据光栅的莫尔条纹原理进行工作的一种传感器。图13-4是透射式光栅传感器结构原理图。它主要由光源、透镜、光栅副和光电接收元件等组成。;;光源主要供给光栅传感器工作所需的光能。

透镜主要将光源发出的点光变成平行光，通常采用单个凸透镜。

光栅副主要由标尺光栅(又称为主光栅)和指示光栅组成，是光栅传感器的核心部分，它的精度决定着整个光栅传感器系统的精度。一般标尺光栅和指示光栅刻线密度相等，指示光栅一般比标尺光栅短得多，只要能满足测量所需的莫尔条纹数量即可。测量时被测对象带动指示光栅或标尺光栅移动，使两光栅产生相对运动，所以标尺光栅的长度决定了测量范围。;光电接收元件将光栅副形成的莫尔条纹的明暗变化转换为电量输出，在光电元件的输出端常接有放大器，使其得到足够的功率输出，以防干扰的影响。

图