传感器与自动检测技术（第二版）电阻式传感器.pptVIP

**PZ型为纸基丝式应变片，PJ型为胶基丝式应变片，BB、BA、BX型为箔式应变片，PBD型为半导体应变片。*1με=1μm/m*********最后在应变片上涂一层防护层，防止大气对应变片的侵蚀，保证应变片长期工作的稳定性。******提问：应变片贴于何处？*汽车衡也称为地磅（truckscale）：是厂矿、商家等用于大宗货物计量的主要称重设备。在二十世纪80年代之前一般是利用杠杆原理纯机械构造的机械式汽车衡。随着高精度称重传感器技术的日趋成熟，机械式地磅逐渐被精度高、稳定性好、操作方便的电子汽车衡所取代。*汽车衡标准配置主要由承重传力机构(秤体)、高精度称重传感器、称重显示仪表三大主件组成，即可完成汽车衡基本的称重功能，也可根据不同用户的要求，选配打印机、大屏幕显示器、电脑管理系统以完成更高层次的数据管理及传输的需要。*电子天平的精度甚至可达十万分之一***********硅薄膜式风速风向传感器：利用风吹薄膜产生风压，导致薄膜形变，薄膜上的应变电阻会感应到薄膜的形变。通过测量应变电阻的变化即可解算出风速大小。硅薄膜式测风传感器3.压阻式传感器的主要特性1）应变-电阻特性半导体应变片的应变-电阻特性，在数百微应变（με）内呈线性，但在较大的应变范围内则出现非线性。为了提高传感器应变-电阻的线性度，通常对于粘贴应变片的膜片预先加压缩应变。当掺杂浓度增加，灵敏度系数就减小。2）电阻-温度特性半导体应变片也和金属应变片一样，温度的变化会引起电阻变化。硅和锗的电阻温度系数大于700×10-6/oC，比康铜、卡玛等金属大得多，而半导体的线膨胀系数大约为3.2×10-6/oC，比被测试件小得多，同时，灵敏度系数也大。2.2.3压阻式传感器的测量转换电路压阻式传感器利用半导体平面集成电路工艺，通过光刻、扩散等技术，在硅膜片上制作了n组（一组4个等值）半导体应变电阻，并从中筛选出一组构成惠斯登平衡电桥。测量电路一般都采用四臂差动等臂等应变全桥检测电路。1.恒压源供电方式假设四个扩散电阻的起始电阻都为R，当受到应力作用时，有两个电阻受拉，电阻增加，增加量为ΔR；另一对角边的两个电阻受压，电阻减小，减小量为-ΔR。另外，由于受温度的影响，使每个电阻有ΔRT的变化量。电桥的输出为整理得电桥输出与供电电压成正比，并与温度对电阻的影响ΔRT有关，而且是非线性的。即用恒压源供电时，不能消除温度的影响。2.恒流源供电方式当用恒流源供电时，假设电桥两个支路的电阻相等，即RABC=RADC=2（R+ΔRT），所以流过两支路的电流相等，IABC=IADC=I/2。所以电桥的输出为电桥的输出与电阻的变化量成正比，即与被测量成正比；也与供电电源的电流成正比，即输出与恒流源供给的电流大小、精度有关。但是，电桥的输出与温度的变化无关。这是恒流源供电的优点。用恒流源供电时，一个传感器最好独立配备电源。2.2.4压阻式传感器的温度补偿1.零点温度补偿零点温度漂移是由于四个扩散电阻值及它们的温度系数不一致造成的。一般用串、并联电阻的方法进行补偿。图中的Rs是串联电阻，RP是并联电阻。串联电阻主要起调零作用，并联电阻一般采用阻值较大且温度系数为负的热敏电阻，主要起补偿作用。2.灵敏度温度补偿灵敏度温度漂移是由于压阻系数随温度的变化引起的。试验表明，传感器的温度系数为负值。为补偿灵敏度温度漂移，可采用在电源回路中串联二极管的方法。随着科学技术的不断进步，现在利用半导体集成电路平面工艺不仅能实现将全桥压敏电阻与弹性膜片一体化，形成固态传感器；而且能将完美的温度补偿电路与电桥集成在一起，使它们处于相同的温度环境下，不仅取得了良好的补偿效果，甚至还能把信号放大电路与传感器集成在一起制成单片集成传感器。压阻式传感器具有下列优点：体积小，结构比较简单，灵敏度高，能测量十几微帕的微压，动态响应好，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。因此，它在测量压力、压差、液位物位、加速度和流量等方面得到广泛应用。应用领域涉及电力、化工、石油、机械、钢铁、城市供热、供水等行业。2.2.5压阻式传感器的应用1．压力的测量右图是压阻式传感器在压力测量应用中的例子。当硅膜片两边存在压力差时，膜片上各点就有应力。四个扩散电阻的阻值就发生变化，使电桥失去平衡，输出相应的电压。这样，由测得不平衡电桥的输出电压就可得到膜片所受的压力差。小型压阻式固态压力传感器高压进气口低压进气口呼吸、透