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- 2024-02-28 发布于四川
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本发明提供了一种密封圈测试平台。所述密封圈测试平台包括平台上板、平台下板、电热丝及检漏密封盖。所述平台上板中心设有抽气通孔。所述平台下板上表面压紧所述平台上板的下表面，并设有容纳半导体镀膜设备的至少一种第一密封圈的第一密封槽。所述电热丝设于所述平台上板和/或所述平台下板，用于模拟所述第一密封圈的工作温度。所述检漏密封盖中心设有连接检漏仪的抽气通道，而其下表面压紧所述平台上板的上表面，用于供所述检漏仪经由所述抽气通道及所述抽气通孔，对所述平台上板与所述平台下板之间抽真空，以检测所述第一密封圈的密封
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117606787A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311466571.X
(22)申请日2023.11.06
(71)申请人拓荆科技股份有限公司
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