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2024-03-02 发布于四川
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本文中公开具有连续槽通孔的衬底。在一个实施例中，衬底包括第一设计层、第二设计层和所述第一设计层与所述第二设计层之间的中间层。所述衬底进一步包含竖直延伸通过所述第一设计层与所述第二设计层之间的所述中间层的第一信令通孔和第二信令通孔。所述第一信令通孔和所述第二信令通孔分别在所述第一设计层与所述第二设计层之间路由第一数据信号和第二数据信号。所述衬底进一步包含槽通孔，所述槽通孔定位于所述中间层内的所述第一信令通孔与第二信令通孔之间，且沿着穿过所述第一信令通孔与所述第二信令通孔之间的路径横向延伸到所述中间

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117637707A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311097342.5

(22)申请日2023.08.29

(30)优先权数据

17/899,4772022

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