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本发明涉及一种电子级氟化铵水溶液制备方法，属于湿电子化学品技术领域。本发明以氟硅酸氨解所得氟化铵水溶液为原料，浓缩结晶得到粗氟化铵固体，再溶于有机溶剂中，重结晶得到ppm级氟化铵固体，然后加热升华，在惰性气流下降温凝结，气固分离得到高纯氟化铵，最后溶于高纯水，经过三级微滤膜过滤，制得电子级氟化铵水溶液。本发明使用有机溶剂对氟化铵重结晶除掉大部分杂质，然后以氟化铵升华‑凝结的方式深度除杂，得到高纯氟化铵；过程所用介质有机溶剂、惰性气体均可重复循环使用，成本较低，全过程不产生废渣废液，绿色环保；所得
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117658172A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311411603.6
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人多氟多新材料股份有限公司
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