针对微流控芯片键合面的 清洗与贴合机构研究.docxVIP

针对微流控芯片键合面的 清洗与贴合机构研究.docx

  1. 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
  2. 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  3. 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多

摘要

PAGE

PAGEI

针对微流控芯片键合面的清洗与贴合机构研究

摘要

本文基于方便快捷这一需求及一定的相关文献,研究设计了一种可以集多种清洗步骤与贴合于一体的清洗贴合机构。本文利用导轨滑块在空间内一个方向直线移动的自由度,及芯片夹取机构在空间内另外两个方向直线移动的自由度,实现芯片在有限空间内的自由移动,以完成能够将芯片依次进入各清洗槽内,利用浸泡在丙酮、去离子水、某混合物溶液等溶液中的,以一定转速进行旋转的清洗刷头,进行旋转清洗的操作,最后利用盒体顶端喷头垂直喷射去离子水,使完成所有清洗步骤工作的两芯片在去离子水的冲洗下进行初步贴合。此机构在能够

您可能关注的文档

文档评论(0)

***** + 关注
实名认证
文档贡献者

乐于分享,有偿帮助。

版权声明书
用户编号:8070007123000004

1亿VIP精品文档

相关文档