多晶硅的基础知识.docx

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多晶硅的根底学问

重要的半导体材料,化学元素符号Si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。

在争论和生产中,硅材料与硅器件相互促进。在其次次世界大战中,开头用硅制作雷达的高频晶体检波器。所用的硅纯度很低又非单晶体。1950年制出第一只硅晶体管,提高了人们制备优质硅单晶的兴趣。1952年用直拉法(CZ)培育硅单晶成功。1953年又争论出无坩埚区域熔化法(FZ),既可进展物理提纯又能拉制单晶。1955年开头承受锌复原四氯化硅法生产纯硅,但不能满足制造晶体管的要求。1956

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