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本实用新型公开了一种单向流通抽气管路,包括气管,所述气管的一侧安装有机械泵,所述气管的另一侧安装有罗茨泵,所述罗茨泵一端的管路连接有真空腔室;还包括:单向气管,其设置在所述气管的中间位置,所述单向气管的内部设置有若干个直流通道,且直流通道之间构成整个气流通道,所述直流通道的两端均设置有减速通道,减速通道的两端与直流通道相连通,且减速通道呈环形结构;过滤机构,其设置在所述气管内部的一侧,所述过滤机构的内部安装有滤网;解决了机械泵高速运转时渗漏出的油气反串至罗茨泵和真空腔室内,造成罗茨泵损伤以及污染
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220579381U
(45)授权公告日2024.03.12
(21)申请号202321870566.0
(22)申请日2023.07.17
(73)专利权人台玻长江玻璃有限公司
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