基于反相取消结构的全差分微陀螺仪馈通取消电路.docxVIP

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2024-03-18 发布于山东
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基于反相取消结构的全差分微陀螺仪馈通取消电路.docx

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第6卷第5期2023年9月

飞控与探测

FlightControlDetection

Vol.6No.5September2023

馈通取消电路基于反相取消结构的全差分微陀螺仪*

馈通取消电路

吴雨婷1,2,张卫平1,刘敏茜1,2,谷留涛1,2,崔峰1

(1.上海交通大学微米/纳米加工技术全国重点实验室·上海·200240;2.上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系·上海·200240)

摘要:由于加工工艺和测试环境的限制,基于MEMS工艺制备的微陀螺仪存在寄生馈通电容,严重干扰信号的检测。而常用的馈通取消方法依赖于微陀螺仪和电路的对称性,难以有效地消除馈通信号。针对以上问题,通过建立包含馈通电容的RLC等效电路模型,分析馈通效应的影响,提出一种结合双边反相取消结构的全差分馈通取消电路,利用反相取消结构调节由差分电路的不对称性所引起的馈通误差,该方法可以在提高驱动力的同时有效消除馈通信号。以方形质量块微振动陀螺仪为研究对象,测试采用该方法取消馈通后的检测信号信噪比(SNR)为25.57dB,相比馈通取消前信噪比提高了13.32倍。测试结果表明该方案能有效地补偿馈通电流并提高微陀螺仪的信号检测性能。

关键词:MEMS陀螺仪;馈通取消;全差分电路;开环测试

中图分类号:U666.1文献标志码:A文章编号:2096-5974(2023)05-0039-8

FullyDifferentialCancellationCircuitforMicroGyroscopeBasedonInverseCancellationStructure

WUYuting1,2,ZHANGWeiping1,LIUMinqian1,2,GULiutao1,2,CUIFeng1

(1.NationalKeyLaboratoryofAdvancedMicroandNanoManufactureTechnology,

ShanghaiJongTongUniversity,Shanghai200240;

2.DepartmentofMicro/NanoElectronics,SchoolofElectronicInformationandElectricalEngineering,

ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240)

Abstract:Duetothelimitationofprocessingtechnologyandtestingenvironment,theparasiticfeedthroughcapaci-tanceisinevitablyintroducedinthemicrogyroscopepreparedusingMEMStechnology,whichseriouslyinterfereswithsignaldetection.However,thecommonlyusedfeedthroughcancellationmethodshighlydependonthesymme-tryofthemicrogyroscopeandthedetectioncircuit,whichcannoteffectivelyeliminatethefeedthroughsignal.Inor-dertosolvetheproblems,anewfeedthroughcancellationmethodisproposedinthispaper.ThefeedthrougheffectisanalyzedbyestablishinganRLCequivalentcircuitmodelincludingthefeedthroughcapacity.Then,afullydiffer-entialfeedthroughcancellationschemecombinedwithtwoinversefeedthrough