微机电系统习题及参考答案.pdf

第

1、2xx习题及参考答案

1．MEMS的设计涉及那些学科？简述MEMS的设计方法及特点。

MEMS综合了机、电、磁、光、声、热、液、气、生物、化学与多种学科

而构成了一门独立的交叉学科。它研究多种学科各自的特征参量相互之间的耦

合关系，应用这些物理联系和耦合关系去分析和解决MEMS设计与制造中的问

题。

MEMS研究多种学科各自的特征参量相互之间的耦合关系，应用这些物理

联系和耦合关系去分析和解决MEMS设计与制造中的问题。因此，在MEMS的

设计中必须考虑系统设计方法，信息流程设计方法，建立统一物理特征参量设

计方法。

1.MEMS设计与制造的研究和分析，MEMS产品分成系统，子系统、元件

（元素）三个层次。

2.信息流程是指MEMS产品中各种信息或物理量传递的次序关系，这种传

递关系是以程序形式表达的。

3.建立统一的物理特征参量，应该对所需设计对象涉及的各种物理特征参量

都相对参照于同一概念的物理特征参量,即相对于系统能量变化而确定。

这样系统内各子系统和元件（元素）的物理特征都可以用相同的物理特征

参量描述。

2．工程系统设计通常有几种方法？其主要思路是什么？试举例说明。

工程系统设计通常有:

1.K.J法。K.J法是由底向上处理大量数据之间关系的一种假设。

K．Jxx思路步骤：

（1）标签制作：

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收集有关问题的所有事实和信息，并且在单个标签上或者纸片上书写

每个事实。

（2）标签归类：

对所有的标签进行分组，并仔细阅读。相同属性的标签归在一起，不

同属性的个别标签（孤独的狼）放在后面。对每一组标签给定合适的名

称，并把它放在面上。在更高的水平上重复以及处理孤狼。重复上述迭代过

程，以及归类的类型数少于10个。

（3）范围制作：

在恰当的空间图样内，仔细布阵最后确定的标签组，给出标签组结构

总的了解，用符号描述标签组之间的关系。对纸上图表进行转移排列，以

同样的做法处理布阵子标签组。

（4）说明：

用简短动词说明，构筑问题的一般情况，依据简图的事实内容，试图用文

字表达、描述简图，并仔细区别个性说明。当解释问题的结构时，解答问

题的观点要进行说明。

2.NM法。NM法是在自然式日常生活中寻找比拟法创造和开发新技术观

点，应用到不同的问题型式中。

NM法的四种技术：

（1）NM法的A型式和S型式，联合外观上不相关的量创造观点。A型式

（面积）：

空间的联合，如“球“加”笔“为钢笔尖。而“鸡蛋”和“玻璃杯”的联合创造出一

种新型鸡蛋包装。S型式（连续的）；时间的联合，当制作电影或卡通片时，用

来创造惊奇的战果。

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（2）NM法的T型式（用3种问题型式的求解，创造许多类比。

问题类比（QA）：

“以一个实例：

创造出许多类比；

问题背景（QB）：

“如何制造“，参考类比进行制造；

问题概念（QC）：

“任何的提示“，为解决问题取得提示。

（3）NM法的H型式，实行一个类比，完全可产生一个好的答案。同样问

题可用作创造类比和观点的提示。问题开发（QD）：

用联合许多问题概念开发观点。

接触问题的设计用一个类比显示，当在显微镜下注意到电子接触点时，接

触表面看起来象泥坑。从类比得到启示，用离开接触面之间的距离解决，即变

为点接触。

（4）NM法的D型式：

在上述3种技术中，所应用的方法是为了发现而不是发明。而这种方法是

从上述3种技术相抵触的数据中取得假设。为了类比，可以看做是一种收集有

争议的数据，从中得到启发，探索问题的解决。

3.KEY-NEEDS法，中文称为关键需要法。关键需要法是一种创造与使用者需

要一致的新产品概念的工具。

关键需要法的技术步骤

（1）KW步骤：

构筑关键词，根据市场的需要，用动词或者副词