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2024-03-20 发布于四川
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一种压电式MEMS散热器.pdf

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本发明公开了一种压电式MEMS散热器，包括：散热器底座包括中央区和环绕中央区的边缘区，边缘区包括多个进气口和多个出气口；止回阀层包括进气阀和出气阀阵列，进气阀覆盖进气口，出气阀覆盖出气口；压电执行器层设置于止回阀层远离散热器底座的一侧，压电执行层包括第一基底、设置于第一基底一侧的多个压电振动单元；第一基底与散热器底座以及止回阀层形成空腔；第一基底包括多个通孔，每一通孔对应设置一压电振动单元，压电振动单元用于接收电信号时振动，使空腔内的气体通过出气阀和出气口排出或者使外部气体通过进气口和进气阀进入

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117727715A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311768337.2

(22)申请日2023.12.21

(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司

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