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- 2024-03-20 发布于四川
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本发明提供了一种处理装置,包括:载具,用于放置产品;浸泡机构,浸泡机构能够储存液体,浸泡机构用于浸泡产品;第一移动机构,可移动地设置,第一移动机构具有将载具至少部分地放入浸泡机构的第一工况以及将载具从浸泡机构取出的第二工况;第二移动机构,可移动地设置在第一移动机构上,第二移动机构包括吸附机构,吸附机构用于吸附和移动产品以将产品放入载具中。通过本发明提供的技术方案,可以自动将未完全分离的薄膜和晶片集中接收和处理,从而可以代替现有的人工处理的方式,提高处理效率,并且可以避免损伤薄膜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110875209A
(43)申请公布日
2020.03.10
(21)申请号20181
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