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2021

文档名

真空系统中常用材料和真空卫生

n一、真空材料的要求和分类

n二、金属及其合金材料

n三、非金属材料

n四、真空卫生

一、真空材料的要求和分类

n1、材料的真空性能要求

n2、真空材料的其他性能要求

n3、真空材料的分类

n4、真空材料的选材原则

材料的真空性能要求

n1、气体渗透率：气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和溢

出固体阻挡层的过程成为渗透。该情况的稳态流率称为渗透率

n渗透率与气体和材料的种类有关。对于金属，有些金属（如不锈钢、铜、

铝、钼等）的气体渗透系数很小，在大多数实际应用中可以忽略不计。但对

某些金属（如铁、镍等），氢气对他们具有较高的渗透率。氢气对钢的渗透

率随含碳量的增加而增加，所以选择低碳钢做真空室材料为好；另外有些金

属对气体的渗透具有选择性，如氢气就极容易渗透过钯，氧气易投过银等