- 13
- 0
- 约1.65万字
- 约 16页
- 2024-03-23 发布于四川
- 举报
本发明涉及一种镀锅、镀膜装置和镀锅调节系统。所述镀锅包括:镀锅主体,所述镀锅主体内设有蒸镀孔;晶片固定组件,设于所述蒸镀孔内,并与所述镀锅主体旋转连接,所述晶片固定组件用于承载并固定待蒸镀晶圆片;固定件,在所述固定件分别与所述镀锅主体、所述晶片固定组件连接时,使所述镀锅主体和所述晶片固定组件由旋转连接变为固定连接。上述镀锅的镀锅主体和晶片固定组件的相对角度可调节,从而可以调节待蒸镀晶圆片的蒸镀角度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117737655A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202211112850.1
(22)申请日2022.09.14
(71)申请人重庆康佳光电科技有限公司
地址
您可能关注的文档
最近下载
- 2023-2024学年新疆乌鲁木齐市第一中学七年级上学期期末考试英语试卷 含答案.docx VIP
- 2025年辽宁职业学院单招(语文)测试题库新版.docx VIP
- 金属技术监督管理标准.pdf VIP
- 主变培训精品.pptx VIP
- 2025年学校培训初中地理新课标学习解读.pptx VIP
- 市中级人民法院党组2025年度民主生活会对照检查材料(五个带头).docx VIP
- 部编三上道德与法治期末复习填空选择 小学道德与法治试卷.pdf
- 广东省广州市越秀区2023-2024学年五年级上学期期末英语试题.docx VIP
- 2026年海南财金银河私募基金管理有限公司招聘备考题库参考答案详解.docx VIP
- 2020山东青岛中考《英语》试卷+答案+解析.docx VIP
原创力文档

文档评论(0)