原创力文档- 13
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- 2024-03-23 发布于四川
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本发明涉及一种镀锅、镀膜装置和镀锅调节系统。所述镀锅包括：镀锅主体，所述镀锅主体内设有蒸镀孔；晶片固定组件，设于所述蒸镀孔内，并与所述镀锅主体旋转连接，所述晶片固定组件用于承载并固定待蒸镀晶圆片；固定件，在所述固定件分别与所述镀锅主体、所述晶片固定组件连接时，使所述镀锅主体和所述晶片固定组件由旋转连接变为固定连接。上述镀锅的镀锅主体和晶片固定组件的相对角度可调节，从而可以调节待蒸镀晶圆片的蒸镀角度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117737655A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202211112850.1
(22)申请日2022.09.14
(71)申请人重庆康佳光电科技有限公司
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