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一种可稳定极化的铁电-介电薄膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-03-23 发布于四川
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一种可稳定极化的铁电-介电薄膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种可稳定极化的铁电‑介电薄膜及其制备方法。所述可稳定极化的铁电‑介电薄膜包括基底层、以及在基底层上依次生长的底电极和功能层；所述功能层是基于所述底电极层生长的第一SrTiO3介电层‑PbZrTiO3铁电层‑第二SrTiO3介电层薄膜。本发明通过在铁电层PbZrTiO3上层和下层中插入介电层SrTiO3沉积的方式，使得制备的铁电‑介电薄膜具有可稳定极化的铁电性能，有望使其应用于航天器电子元件等应用领域。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117737661A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202311740669.X

    (22)申请日2023.12.15

    (71)申请人广州先进技术研究所

    地址5

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