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2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图.docx

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图

    目录

    TOC\h\z30216序言 3

    6972一、工艺说明 3

    16137(一)、技术管理特点 3

    7379(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 4

    23953(三)、设备选型方案 6

    11253二、微波集成电路AL2O3基片项目建设背景及必要性分析 7

    29214(一)、微波集成电路AL2O3基片项目背景分析 7

    8729(二)、微波集成电路AL2O3基片项目建设必要性分析 9

    1906三、微波集成电路AL2O3

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