冷凝泵维修步骤.ppt

CT10冷凝泵维修冷凝泵维修流程CT10冷凝泵,P/N:8018182G001S/N:现场维修冷凝泵主要有以下步骤:客户将冷凝泵升温到室温装态,一般升温需要吹氮气二小时左右.将冷泵从机台上拆下,一般在20~40分钟.将拆下冷凝泵解体,一般需要30~40分钟.利用客户冷凝泵的外壳,把工程师带来的其它部件安装到客户的外壳里.需要60分钟左右.对冷泵做氦气部分的处理(客户需要提供纯度为99.999%以上的氦气).需要10~20分钟左右.处理完毕后的冷凝泵安装到机台上.需要20~40分钟左右.冷凝泵维修流程7.对冷凝泵测试.(包括漏率测试,降温测试)8.降温结束后一小时后对真空腔体抽真空测试(真空测试原则上不低于在维修前的真空度,有于腔体的真空度和真空腔体的密封性有很大的关系,所以这一步骤的测试不是冷凝泵的常规测试项目).需要客户提供由于是现场测试,所以需要客户做以下配合:1.准备一瓶高纯(99.999%以上)的氦气,钢瓶与普通使用的氮气钢瓶一样规格,钢瓶接口为CGA580(内螺纹或外螺纹),即通常氮气钢瓶的接口.2.客户提供能控温到50~60度的烘箱,有的部件需要烘烤.3.客户提供乙丙醇或无水酒精,擦拭用无尘布.4.需要客户工程师配合做拆装泵及测试.维修服务的品质凡是本公司维修的低温冷凝泵按照CTI原厂的测试标准测试,并现场确认测试结果.凡本公司维修的冷凝泵,提供安装完成后一年的质量保证期,在保证期内冷凝泵出现质量问题,无偿提供维修服务.(由于操作失误,特殊工艺及人为造成的损坏本公司不承担责任)凡本公司的客户,我们会不定期回访.如有任何冷凝泵或真空方面的问题,随时提供电话服务.如有需要,可以在现场作冷泵方面的基本培训及冷凝泵常见故障排除培训.ThankYou上海西体艾真空科技有限公司2009/11/26 SHCTI上海西体艾真空科技有限公司CreatingManufacturingEfficiency.AcceleratingYourProfit. SHCTI上海西体艾真空科技有限公司*