实验室和特殊高纯气体管路安装介绍.pdfVIP

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设

备用点（POU），为了达到工艺对气体的质量要求，在

气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的

材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精

度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，

因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中

注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的

反应气体则选择高等级的316LEP管，经电解拋光

(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，

Rmax(maximumpeaktovalleyheight)约为0.3μm

以下，其值远低于经过光辉烧结(BrightAnneal)处理

之316LBA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成

微涡流，而将污染粒子带出。316LBA管则常使用于和

芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管

内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，

其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的

AP管(AnnealingPicking)，则用于不做为供气管路

的双套外管。

目前在国内洁净管道可参照标准比较少，通常我们除了参照《洁净厂房设计

规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术

行业技术规范外，在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准：

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也

越来越高。表1是各线宽下对超纯氮气的要求

高纯氮气（PN2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀

门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

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氮气（N2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管或光亮退火

（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。3P5j7A+

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高纯氢气（PH2）氢气（H2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不

锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气（Ar）：系统管道采用内壁

电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

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氦气（He）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L不锈钢管）阀门采用

相同材质的波纹管阀或隔膜阀。4]6r+K4P3k*p

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特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化（AP）处理，内管电解抛光

（EP），阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

压缩空气（CDA）：系统管道采用光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀

门采用相同材质的球阀（要求不高的公司亦可采用铜管，视工艺要求定）2yy.

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对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂

的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄

漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报

警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要

求，工作的安全性大大提高。$E2g$K%k)y.{

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(GasCabinet)

内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB,ValveManifoldBox)，而后

再进入制程机台的使用点(POU,PointofUse)，于进入机台腔体之前，会有独立

的气体控制盘(GB,GasBox)与制程控制模块联机，以质流控制器(MFC,MassFlow

Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂

务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放

式的气瓶架(GasRack)与阀盘(VMP,ValveManifoldPanel)进行供应。

超洁净不锈钢管道、管件、阀门的定义

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用途：不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净气体，及生物制药产业

中洁净管道（各种水）。

表面处理方式：

RA值的比较（Roughness