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- 2024-03-30 发布于四川
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- | 2024-03-15 颁布
- | 2024-10-01 实施
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ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.32024ISO14644-32019
代替/—
GBT25915.32010
洁净室及相关受控环境
:
第部分检测方法
3
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part3Testmethods
(:,)
ISO14644-32019IDT
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.32024ISO14644-32019
目次
前言…………………………Ⅰ
引言…………………………Ⅱ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
3.1一般术语……………1
3.2与空气悬浮粒子有关的术语………………………2
3.3与空气过滤器和过滤系统有关的术语……………3
3.4与气流和其他物理状态有关的术语………………4
3.5与静电测量有关的术语……………4
3.6与测量器具和测量条件有关的术语………………5
3.7与占用状态有关的术语……………5
4检测规程…………………5
4.1洁净室检测…………………………5
4.2原理…………………6
5检测报告…………………8
()……………
附录资料性支持性检测和清单的选择
A
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