包括与碳纳米管结合的高耐磨薄膜涂层的复合抛光垫和生产该复合抛光垫的方法.pdfVIP

包括与碳纳米管结合的高耐磨薄膜涂层的复合抛光垫和生产该复合抛光垫的方法.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种用于CMP的复合抛光垫和生产该复合抛光垫的方法。该用于CMP的复合抛光垫包括：软聚合物基底层，包括形成在该软聚合物基底层的上表面上的多个突起；碳纳米管层，包括嵌入并结合到所述基底层的上部的碳纳米管；和硬聚合物涂层，其中，向外突出的碳纳米管嵌入并结合到所述碳纳米管层的上部。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117794686A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202180099397.2(74)专利代理机构北京鸿元知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

更多 >