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JJF20672023
X射线能谱仪校准规范
1范围
本规范适用于基于扫描电子显微镜或者电子探针的射线能谱仪的校准。
X
2引用文件
本规范引用下列文件:
JJF1071国家计量校准规范编写规则
/—微束分析电子探针显微分析射线能谱仪主要性能参数及
GBT207262015X
核查方法
/—微束分析电子探针显微分析()术语
GBT216362021EPMA
,;
凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文
,()。
件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范
3术语和计量单位
/—和/—界定的及下列术语和定义适用于本规范。
GBT207262015GBT216362021
射线能谱仪;
3.1Xener-disersiveX-rasectrometerEDS
gypyp
,。
同时记录整个射线谱来测定射线强度作为辐射能量函数的装置
XX
:、。
注射线能谱仪包括固态探测器前置放大器和脉冲处理器探测器将射线光子能转换为
XX
,。
电脉冲并经前置放大器进行信号放大脉冲处理器根据波幅将脉冲分类并形成射线强
X
度对能量的直方图分布。
[:/—,,]
来源GBT2072620153.1有修改
谱峰半高宽;
3.2fulleakwidthathalfmaximumFWHM
p
,()。
谱峰扣除背底后强度最高值之半处的峰宽度单位为电子伏特eV
:,。
注最大峰强度是通过拟合相应的谱峰所有通道来测定峰宽是在峰高一半处测量
[:/—,]
来源GBT2163620215.6.7
3.3定量分析uantitativeanalsis
qy
运用电子激发射线谱的方法在微米尺度分析体积中测定元素含量。
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