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JJF19162021
扫描电子显微镜校准规范
1范围
本规范适用于扫描电子显微镜的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件:
—国家计量校准规范编写规则
JJF10712010
/—纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
GBT203072006
,;
凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文
,()。
件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本规范。
3.1标准样板referenceartifact
,,
具有多个等间距栅格的样板其栅格间距经过国家法定计量检定机构校准间距值
溯源到国家基准。
4概述
(“”),
扫描电子显微镜以下简称电镜利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描电
,,
子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号由此获得表面形貌图像可以达
。。
到纳米级的分辨力其结构示意见图1
图扫描电子显微镜结构示意图
1
—电子枪;—聚焦透镜;—扫描线圈;—信号探测器;—样品;—样品室;—真空系统
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5计量特性
,。
电镜计量特性见表性能指标供校准时参考
1
1
—
JJF19162021
表1电镜的计量特性
计量性能性能指标
测长示值误差不超过±5%
正交畸变不超过0.5°
线性失真度10%
6校准条件
6.1环境条件
:();:。
环境温度20±5℃相对湿度不超过65%
使用的标准样板应与被测仪器放在一起等温不少于0.5h。
实验室电磁辐射应不影响测量结果。
6.2校准用标准器
,。
扫描电镜校准项目所采用的标准样板为等间距栅格标准样板
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