扫描探针显微镜校准规范.docx

JJF1351—2012

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扫描探针显微镜校准规范

1范围

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。

扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

2引用文件

本规范引用下列文件：

JJF1001—2011通用计量术语及定义

GB/T19067.1—2003产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语和定义

3.1扫描探针显微镜scanningprobemicroscope(SPM)

具有扫描测量功能的探针显微镜的统称。主要包含原子力显微镜(AFM)、扫描隧

道显微镜(STM)等。

3.2扫描探针显微镜Z向漂移SPMZ-directiondrift

扫描探针显微镜定点测量时Z向测量值的漂移。

4概述

扫描探针显微镜具有高分辨力、实时、原位成像等特征。对样品无特殊要求，不受样品的干燥度、形状、硬度、纯度等限制，可在大气、常温环境甚至是溶液中成像。广泛应用于纳米科技、材料科学、物理、化学和生命科学等领域。

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图1SPM典型结构示例

1—测头；2—测量试样；3—工作台

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图1所示为扫描探针显微镜测量部分典型结构图。一些扫描探针显微镜测头或工作

台具备X、Y、Z方向扫描功能，实现二维或三维的形貌测量。

5计量特性

5.1扫描探针显微镜Z向漂移

5.2X、Y轴位移测量误差

5.3Z轴位移测量误差

5.4扫描探针显微镜测量重复性

5.5X、Y坐标正交性误差

6校准条件

6.1环境条件

仪器使用允许的环境条件，测量过程中应测量和记录环境的温度、湿度。使用的标

准样板应在测量环境中稳定不小于2h。

6.2标准器

扫描探针显微镜校准项目及采用的标准器见表1。

表1校准项目及采用的标准器

序号

校准项目

标准器及技术要求

标准器具

技术要求

1

扫描探针显微镜Z向漂移

纳米级台阶样板

U=4mm+5×10-?h,k=2h为台阶高度

2

X、Y轴位移测量误差

纳米线间隔样板

MPE:士1nm

3

Z轴位移测量误差

纳米级台阶样板

U=4mm+5×10-?h,k=2h为台阶高度

4

扫描探针显微镜测量重复性

纳米级台阶样板

U=4mm+5×10-?h,k=2h为台阶高度

5

X、Y坐标正交性误差

二维纳米线间隔样板

MPE:±0.1°

注：应用的纳米级台阶样板及纳米线间隔样板(一维、二维)的形貌图及三维轮廓图见图2、

图3。

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Y轴测量范国/μmY轴测量范

Y轴测量范国/μm

Y轴测量范围/μm

Z轴测量范围：20nm

X轴测量范围/μm

图2纳米级台阶样板形貌图和三维图

Z轴测量范围：1nmZ轴测量范围：20

Z轴测量范围：1nm

X轴测量范围/μmX

X轴测量范围/μm

图3一维和二维纳米线间隔样板形貌图

7校准项目和校准方法

7.1扫描探针显微镜Z向漂移

用纳米级台阶样板中平面测量区域作被测对象，将扫描探针显微镜调整在测量

状态。

关闭扫描探针显微镜的X、Y扫描，仅保留Z向扫描功能，行扫描频率1Hz,行扫描分辨力选取扫描探针显微镜的最大值，按约定的时间连续测量，以约定时间内测量数据的均方根(RMS)作为该项的校准结果，计算公式如下：

式中：

D——Z

向漂移，nm;

(1)

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4

2轴测量值/nm

2轴测量值/nm

Z;---Z轴测量值，nm。

注：输出结果采用扫描探针显微镜形貌图或网格数据形式。记录结果同时需记录相应行扫描分辨力及测量时间等信息。

7.2X、Y轴位移测量误差

用纳米线间隔样板进行扫描探针显微镜X、Y轴位移误差的测量。

测量位置/μm

图4线间隔样板扫描测量图像及分析数据

测量时通常在纳米线间隔标准样板上选取6个间隔以上的周期并兼顾测量范围不小于扫描探针显微镜扫描器扫描范围的1/3。

线间隔周期起点以延长边缘数据加权重心法确定。如图4所示，线间隔周期位移点

可由式(2)表示：

式中：

X,——线间隔周期位移点，nm;

x;——X或Y向实测值，nm;

Ne——间隔测量点数，一般取外延3到5点。