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- 2024-04-03 发布于海南
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第30卷
第1期真空与低温
2024
年
1
月Vacuum
and
Cryogenics71
电极间距对防原子氧聚硅氧烷薄膜性能的影响
李毅，何延春，王虎，王兰喜，曹生珠，袁璐，王江伟，李中华*
（兰州空间技术物理研究所
真空技术与物理重点实验室，兰州730000）
摘要：与传统制备防护薄膜的方法相比，等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法，可以在各种
基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法在大面积柔性聚酰亚胺
Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄膜。用SEM、AFM、FTIR和XP
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