各种材料学分析测试技术总结.docxVIP

OM

EDS

SEM

光学显微镜

optical

microscope

能谱仪

(Energy

Dispersive

Spectrometer)

(分为点、线、

面扫map)

扫描电子显微镜

(scanning

electron

microscope)

原理

显微镜是利用凸透镜的放大成像原理，将人眼

不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸,其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角(视

角大的物体在视网膜上成像大)，用角放大率

M表示它们的放大本领。

各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波

长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

利用二次电子信号成像来观察样品的表面形

态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电

子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要

是样品的二次电子发射

介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性

貌观察手段

当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面

可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像

利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激

发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大

和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样

品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束

入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次

大于0。2nm

看不清亚结构

探头：一般为Si(Li)锂硅半

导体探头

探测面积:几平方毫米

分辨率(MnKa):~133eV

分辨率：3—4nm

放大倍数:20万倍特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关,可用于成分分析。

由于电子束只能穿透很浅表

时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、

特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生

的电磁辐射。

SEM是利用电子和物质的相互作用，可以获取

被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，

如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电

场或磁场等等.主要是利用二次电子信号成像来

观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去

扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生

各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。

级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光

信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控

制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的

扫描图像.图像为立体形象，反映了标本的表面结

构。

面，只能用于表面分析.

有很大的景深，视野大，成

像立体，可直接观察表面的

细微结构；

试样制备简单。

目前的扫描电镜都配有X射

线能谱仪装置，这样可以同

时进行显微组织性貌的观察

和微区成分分析

TEM

透射电镜

(transmission

electron

microscope

把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品

上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从

而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密

度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像,

影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。

由于电子波长非常短,透射电子显微镜的分辨率

比光学显微镜高的很多，可以达到0。1~0.2nm，

放大倍数为几万~百万倍。

与光学显微镜的成像原理基本一样,所不同的是前

者用电子束作光源，用电磁场作透镜。

透射电镜是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所

产生的物像，投射到荧光屏上或照相底片上进行观

察

SEM是电子束激发出表面次级电子,而TEM是穿透

试样，而电子束穿透能力很弱,所以TEM样品要求很

0。2nm

近百万倍

亚显微结构、超微结构

使用透射电子显微镜可以用

于观察样品的精细结构，甚

至可以用于观察仅仅一列原

子的结构,比光学显微镜所能

薄

,

够观察到的最小的结构小数

万倍。

sem

tem

区别

HRTEM高分辨透射电镜

Highresolution

transmission

electron

microscope

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射

电子被收集而成像.TEM可以表征样品的质厚

衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM

的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分

必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径

3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷。

高分辨电镜物镜极靴间距比较小，所以双倾台

的转角相对于分析型的电镜要小一些.

HRTEM是透射电镜的一种，将晶面间距通过明

暗条纹形象的表示出来。通过测定明暗条纹的

间距,然后与晶体的标准晶面间距d对比，确定属于哪个晶面。这样很