薄膜物理膜厚的测量与监控.pptVIP

2．阻抗放大法阻抗放大法的原理如图2—38(b)所示。由于触针上下运动使电感器的间隙4发生相应的变化时，感抗随之变化，导至线圈阻抗改变。再利用放大电路放大并显示该阻抗的变化量，即可表征触针上下运动的距离。第32页,共37页，2024年2月25日，星期天3压电元件法压电元件法是利用压电材料的压电效应来放大并显示触针上下运动的距离。由于触针上下运动。作用在压电晶体元件的压力将随之改变，从而导致元件的电参数亦随之改变。放大并显示该电参数的变化量，即可表征触针上下运动的数值。第33页,共37页，2024年2月25日，星期天触针式膜厚测量法广泛用于硬质膜厚的测量，其精度比多光束干涉法精确。但应注意以下几个方面，因为它直接影响触针法的应用与精度：(1)由于触针尖端的面积非常小，会穿透铝膜等易受损伤的软质膜，并在其上划出道沟，从而产生极大的误差；(2)基片表面的起伏或不平整所造成的“噪声”亦会引起误差；(3)被测薄膜与基片之间，必须要有膜-基台阶存在，才能进行测量。第34页,共37页，2024年2月25日，星期天习题二什么是饱和蒸气压？蒸发温度？克--克方程及其意义？蒸发速率、温度变化对其的影响？平均自由程与碰撞几率的概念？膜厚的定义？监控方法？