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摘要

TOF-SIMS一次离子光学测控系统及参数调节技术研究

TOF-SIMS

飞行时间二次离子质谱技术（）是一种强大的表面分析手段，具

有分辨率高、样品处理简单和近乎无损等特点，成为当今最有发展前景的表面分

析技术之一。一次离子光学系统是TOF-SIMS仪器重要部件之一，直接决定仪器

分析性能，系统结构精密复杂，需调节的参数众多，包含多组离子束偏转板电压、

聚焦透镜电压，用以控制离子束的飞行轨迹，使离子束的强度和直径满足实验要

求。一次离子光学系统参数设置不合理，会直接导致实验结果出现较大误差甚至

无法满足分析要求。本文在北京离子探针中心自主研发的“同位素地质学专用

TOF-SIMS”仪器实验平台上，针对TOF-SIMS一次离子光学测控系统和参数调

节技术进行研究，主要开展的工作如下：

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（）一次离子光学测控系统设计

针对当前TOF-SIMS仪器一次离子光学系统部件众多、控制方式不统一的问

题，提出一次离子光学测控系统总体设计方案，实现所有测控对象均由上位机控

制。测控系统主要包括离子束控制部分和离子束检测部分，通过控制多个偏转板

组、透镜组的高压电源，对离子束飞行方向进行控制；通过皮安表检测束流强度

并采用刀边法测量束斑直径，达到对离子束强度和束斑大小检测的目的。

（2）一次离子光学测控系统硬件电路开发

为控制偏转板组高压电源输出高压并采集电源模块反馈电压，基于单片机和

CPLD双片控制结构开发了多通道DA/AD模块，模块通过光纤接口与上位机进

DA05V

行数据传输。其中输出—作为电源模块的控制信号，控制偏转板电源

输出±300V电压；偏转板电源输出的高压经过衰减后，由ADC采集该反馈电

压，实现对偏转板输出电压的检测。经多次测试，DA精度优于±0.1%，线性度

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R0.9999，AD精度优于±0.15%，达到设计指标，为测控系统软件开发提供了

前提条件。

（3）一次离子光学测控系统软件开发

针对离子束控制和离子束检测功能，按控制对象不同，将其划分为：偏转板

电源控制模块、透镜电源控制模块、步进电机控制模块和皮安表控制模块。基于

LabVIEW编程环境，采用生产者消费者模型开发了TOF-SIMS一次离子光学测

控系统软件。经实际联机测试，上位机能够控制各个高压电源模块输出既定电压，

并实时采集高压模块返回的电压和电流数值，能够实时控制皮安表并将其示数显

示于软件交互界面，利用刀边法，根据皮安表和步进电机采集的数据能够准确计

算出束斑直径，为后续仪器参数自动调节技术研究奠定了基础。

（4）控制参数调节技术研究

针对TOF-SIMS一次离子光学系统参数调节复杂的问题，提出了一种参数自

动调节方法和基于神经网络模型预测的辅助调参方法，并将自动调节方法融合至

测控软件。相较于手动逐级调试方法，提出的自动调节方法在调节时间上从数小

时缩短至15分钟以内，将束流强度从15pA提高至25pA左右，束流强度明显增

强；搭建的四层神经网络模型在测试集上的均方误差（MSE）、均方根误差

RMSEMAE6.7142.5911.341

（）、平均绝对误差（）分别为、、，预测精度可达

94.7%，说明能够较准确地预测离子束流强度；通过研究束流强度与参数电压的

典型变化曲线，分析各个参数对束流的影响程度，为仪器调试时调节区间和调节

步长的选取提供了指导依据。

关键词：

TOF-SIMS，一次离子光学测控系统，LabVIEW，神经网络

Abstract

ResearchonTOF-SIMSPrimaryIonOpticalMeasurementand

ControlSystemandParametersAdjustment