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静电控制参数实时监控系统通用规范

1范围

本文件规定了静电控制参数实时监控系统的术语和定义、静电控制参数、系统架构、功能要求、性

能要求、试验方法等。

本文件适用于静电控制参数实时监控系统的研究、设计、生产、应用和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

IEC61340-5-1静电学第5-1部分：电子器件的静电防护通用要求

SJ/T10694电子产品制造与应用系统防静电测试方法

GB13348液体石油产品静电安全规程

GB12158防止静电事故通用导则

SH/T3097-2017石油化工静电接地设计规范

SY/T6319-200防止静电、闪电和杂散电流引燃措施

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

静电控制参数ESDcontrolParameter

用来描述静电控制水平的物理量，如接地电阻、表面电阻、静电电压等。

3.2

静电控制参数实时监控系统Real-timeMonitoring（supervisorycontroling）Systemon

ElectrostaticControlParameter

由监控终端采集现场的静电控制参数，再将采集的数据上传到管理平台进行存储、分析、处理、展

示的系统。本文件中简称监控系统。

3.3

监控终端MonitoringTerminal

在监控系统中，用于现场信息采集和/或处理的装置。

1

3.4

管理平台ManagementPlatform

在监控系统中，用于完成系统配置、数据存储、数据分析、数据处理、数据展示等功能的软硬件。

3.5

静电泄漏电阻leakageresistanceofstaticelectricity

物体不带电情况下，物体被测点对大地的总电阻。

[来源：SH/T3097-2017石油化工静电接地设计规范，3.10f）]。

3.6

静电接地电阻earthingresistanceofstaticelectricity

静电接地系统对地电阻。设备外壳至大地电阻称为静电接地电阻，接地体至大地电阻称为接地体对

地电阻。

[来源：SH/T3097-2017石油化工静电接地设计规范，3.10f）]。

4静电控制参数

4.1概述

静电控制的实现方法和管控方式通常如下：

a)静电起电控制：这通常按照两个路径来实现。

1）第一个是间接管控路径，具体是控制与起电相关的工艺和环境参数，如环境温湿度、动作（流

动）速率和静置时间等；

2）第二个是直接管控路径，测试起电电压等参数来管控，管控对象通常包括：人员行走、材料、

设备、产品以及作业器具的接触分离动作后的电压（电荷密度）等；

b)静电泄放：通过测试静电泄放回路的电阻等参数来管控；管控对象通常包括：人员对地、设备

对地、工作表面（台垫、工作台和货架等）对地、作业器具对地等；

c)静电消除：测试目标物上静电残余电压和衰减时间参数，管控对象通常包括：各类型静电消除

设备。

4.2静电控制参数

为了达到控制静电和安全静电放电的目的，建议对以下静电控制对象和参数进行监控，详列如表1

所示，详细应用示范例可参见附录A。

序号参数类型监控对象具体实现设备

1各工序中产品表面在线表面电位监测仪

2静电电压（或电人员行走过程在线人员行走电压监测仪

3位）材料、设备和器具的表面在线表面电位