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行业|深度|研究报告 2024年4月15日

MEMS行业深度：竞争格局、应用领域、市场空间、未来趋势及相关公司深度梳理

MEMS，即微机电系统，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS应用范围广阔，消费电子、汽车、工业是MEMS行业最大的三个细分市场，市场规模较为可观。

围绕MEMS，下面我们从其基本概念入手，了解其特点、主要产品，并对该行业发展历程及当前竞争格局进行分析，对其行业主要产品MEMS传感器进行解读、产业链进行梳理，对其主要应用领域及市场空间进行分析，对未来发展趋势进行展望，方便读者深入了解这一行业。

目录

一、概述 1

二、发展历程及竞争格局 2

三、应用领域及市场空间 4

四、MEMS传感器及产业链梳理 13

五、相关公司 27

六、未来发展趋势 44

七、参考研报 47

一、概述

1.MEMS

MEMS全称Micro-ElectroMechanicalSystem，即微机电系统，是一种微制造技术。微机电系统是集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集于一块或多块芯片上的微型器件或系统。

2.特点

MEMS具有小尺寸、低功耗、高集成度和多功能的特点。其通过微纳加工技术，将机械结构和电子元件集成在微米至纳米尺度的芯片上。它结合了微电子技术、微纳加工技术和机械工程原理。

3.主要产品

MEMS产品主要可分为MEMS传感器和MEMS执行器。其中MEMS传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而MEMS执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。

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MEMS传感器有多重分类方法，按工作原理可分为三类:物理型、化学型和生物型；按信号检测方式分

为：电容式、电阻式和隧道电流式；按照MEMS技术领域分类分为:惯性、压力、声学、环境和光学等；或者按应用场景主要分为：消费电子、汽车电子、工业与通信、医疗健康和国防与航空等。MEMS执行器主要可分为光学MEMS、微流控、射频MEMS、微结构、微型扬声器和超声指纹识别等。

二、发展历程及竞争格局

1.发展历程

MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术之一，经过数十年的发展，已广泛应用于消费电子、汽车、工业与通信、医疗健康、高可靠等领域。

从发展历程看，MEMS起源可追溯至20世纪50年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究；20世纪70年代末-90年代，安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等应用需求增长推动了MEMS行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速度计取得快速发展；20世纪90年代末-21世纪初，信息技术的兴起和微光学器件的需求推动了MEMS行业发展的第二次浪潮，MEMS惯性传感器与MEMS执行器取得共同发展，1991年，电容式微加速度计开始被研制，1998年美国Draper实验室研制出了较早的MEMS陀螺仪，1994年德州仪器以光学MEMS微镜为基础推岀投影仪，21世纪初

MEMS喷墨打印头出现；2010年至今，产品应用场景的日益丰富推动了MEMS行业发展的第三次浪潮，如高性能的MEMS陀螺仪在工业仪器、航空、机器人等多方面得到应用。MEMS商业化将MEMS技

术从最早的汽车应用领域向航空、工业和消费电子等领域不断扩展。

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2.竞争格局

MEMS技术壁垒高，市场长期由少数海外巨头企业主导，2020年全球前十大MEMS厂商占比达到

57.94%，市场较为分散。其中博世以14.2%的份额占比位列第一，其次为博通和威讯联合，占比分别为9.8%和5.6%，而国产厂商歌尔微以3.9%的市场份额位列第六。根据Yole发布的2022年全球MEMS企业Top30，共有6家中国企业进入名单，除了歌尔微电子外，还有瑞声科技、赛微电子全资子公司SilexMicrosystems、台积电、海康威视、睿创微纳。

博世（Bosch）是全球最大的MEMS企业，在运动类MEMS传感器方面一枝独秀，是汽车和消费电子行业MEMS传感器的先驱和全球主