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双光路扫描式微型机构三维测量系统的开题报告

一、选题背景

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展和应用，微型机构三维测量系统作为MEMS的一个重要组成部分，得到了广泛关注和研究。传统的微型机构三维测量系统主要包括激光干涉仪、万能计量仪等硬件设备，其成本较高、使用复杂。

而近年来，基于双光路扫描式的微型机构三维测量系统得到了较大的发展和应用，主要特点是仪器体积小、成本低、使用简便、测量速度快等。因此，本文的选题便是基于双光路扫描式的微型机构三维测量系统，旨在通过对该系统的研究，探索微型机构三维测量系统的开发途径和性能优化的方法。

二、研究内容及目标

本文的研究内容主要包括以下几个方面：

1.研究双光路扫描式微型机构三维测量系统原理和构成，并进行系统的设计和搭建。

2.对双光路扫描式微型机构三维测量系统进行性能评估和测试，包括空间分辨率、测量精度、测量速度等指标的测量和分析。

3.基于性能分析结果，分析双光路扫描式微型机构三维测量系统的优缺点，并提出性能优化方案。

本文的研究目标是搭建出一套稳定的双光路扫描式微型机构三维测量系统，对其进行性能评估和分析，并提出相应的性能优化方案，为微型机构三维测量系统的进一步研发和应用提供参考。

三、研究方法

1.理论分析

通过文献调研和理论分析，掌握双光路扫描式微型机构三维测量系统原理和技术特点，为系统的设计提供理论支持。

2.设计搭建

依据理论分析结果，设计出符合实际需求的双光路扫描式微型机构三维测量系统，并对系统进行搭建和调试。

3.性能测试

通过对系统的空间分辨率、测量精度、测量速度等指标进行测试，对系统性能进行评估和分析，为后续优化提供支持。

4.性能优化

基于性能分析结果，针对双光路扫描式微型机构三维测量系统存在的缺陷和问题，提出相应的性能优化方案，进一步完善系统性能。

四、预期研究结果

1.搭建出一套稳定的双光路扫描式微型机构三维测量系统，包括硬件设备和软件系统。

2.明确双光路扫描式微型机构三维测量系统的性能指标，包括空间分辨率、测量精度和测量速度等指标。

3.对系统进行性能评估和分析，发现并分析系统存在的缺陷和问题。

4.提出相应的性能优化方案，进一步完善系统性能，为微型机构三维测量系统的应用提供参考。

五、论文框架

1.绪论：介绍选题背景和研究意义，明确研究内容和目标，概述研究方法和预期研究结果等。

2.相关理论介绍：介绍双光路扫描式微型机构三维测量系统的原理和技术特点，以及相关的理论知识和基础。

3.系统设计与搭建：介绍双光路扫描式微型机构三维测量系统的设计和搭建过程，包括硬件设备和软件系统的实现。

4.系统性能测试与评估：介绍对双光路扫描式微型机构三维测量系统性能的测试和评估过程，包括测量精度、测量速度、空间分辨率等指标的测试。

5.系统性能优化研究：介绍基于系统性能测试和分析结果，针对系统存在的缺陷和问题提出相应的性能优化方案，包括算法改进、系统调整等措施。

6.总结与展望：总结本文的研究工作和成果，并对微型机构三维测量系统的未来发展进行展望和探讨。

六、参考文献

[1]李浩公,刘新聪.基于双光路扫描式的三维微型机构测量系统[J].激光杂志,2017,38(10):31-34.

[2]WuZ,ChenY,GuoH,etal.Adual-wavelengthlaserinterferometerforlong-rangemeasurementwithnanometeraccuracy[J].OpticsLaserTechnology,2016,80:87-94.

[3]ZhangY,ChenY,WuZ,etal.Acompactandlow-costdual-beaminterferencesystemfor3Dsurfaceprofilometry[J].JournalofMicromechanicsMicroengineering,2015,25(11):115006.

[4]张志华,朱兴全,冯晓广,等.基于单光源双光路的多尺度三维测量技术[J].光电技术应用,2017,32(6):79-83.