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中红外带通滤光片的设计与制备

陈朝平;师建涛;郭芮;白波;杨崇民;郭鸿香

【摘要】Themid-infraredbandpassfilteriswidelyusedasanobservationchannelinapplicationssuchasflight,meteorologyandremotesensing.

Thepeaktransmissionancjfullwidthathalfmaximum(FWHM)arekeyspecificationsofthebandpassfilter,whichdependonthefilmstructureanditsdesign.Themid-infraredbandpassfilterwassuccessfullypreparedusinganewmethodwithGeandZnSmaterialsonGesubstrate.Theselectionofmaterialsandthedesignprinciplesofthismethodwereintroducedindetail,thefilmstructureisalsogiven.ByusingZZSX-1100device,thiskindoffilterwasdepositedwithionbeamassistedprocess.

Themeasurementresultsshowthatitspeaktransmissionismorethan87%andtheFWHMis70nm.Thefilterhasgoodopticalspectrumstabilityandadherence.Thefilmstructureissimpleandeasytoimplement.%中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计.论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法.详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论,给出了膜系结构,运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片,测试结果表明:所制备的滤光片峰值透过率达到87％以上,通带半宽度为70nm,光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现.

【期刊名称】《应用光学》

【年(卷),期】2012(033)003

【总页数】4页(P595-598)

【关键词】中红外带通滤光片;薄膜;离子辅助沉积;通带半宽度;峰值透过率

【作者】陈朝平;师建涛;郭芮;白波;杨崇民;郭鸿香

【作者单位】西安应用光学研究所,陕西西安710065;西安应用光学研究所,陕西西安710065;西安应用光学研究所,陕西西安710065;驻西安北方光电集团军事代表室,陕西西安710065;西安应用光学研究所,陕西西安710065;西安应用光学研究所,陕西西安710065

【正文语种】中文

【中图分类】TN205;O484.4

引言

带通滤光片的主要作用是对光进行光谱选择，使需要的光通过，不需要的波长的光截止。它作为滤光和选择谱线的器件，有着广泛的应用。3μm～5μm中红外波段是重要的大气窗口之一，工作在这一波段的中红外带通滤光片在自然灾害、资源普查、遥感系统、红外相机、多光谱成像仪器、光谱分析和航天器件以及很多军工产品中更是有着重要的作用［1］。然而由于中红外滤光片膜系结构和镀制工艺比较复杂，一直是红外光学薄膜研究的重点之一。中红外带通滤光片可以粗略分为宽带滤光片和窄带滤光片。宽带滤光片的设计可以采用长波通滤光膜和短波通滤光膜组合结构，窄带滤光片的设计一般采用F－P结构或多半波结构［2］。本文提出一种新的基于F－P结构的中红外带通滤光片的设计方法，采用适当的工艺制备出性

能优良的带通滤光片。

1膜料选择

合理选择镀膜材料、优化膜系结构是制备性能优良滤光片的前提保证。镀膜材料的选取原则是：1）透射波段内吸收小；2）机械性能优良，化学性能稳定；3）薄膜与基底、薄膜与薄膜之间要有良好的附着性；4）薄膜的应力应尽可能小，而且对多层膜，高低折射率材料的应力性质最好相反，以降低多层膜的积累应力；5）膜料之间的相容性好；6）工艺上易实现。

对于中红外滤光片，基底和镀膜材料选择都很有限，低折射率材料一般选择ZnS和ZnSe，高折射率材料一