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mgd催化操作规程

MGD（Metal-organicgasphasedeposition）催化操作规程

一、操作目的

MGD催化操作是一种通过金属有机配合物在气相中进行分解沉积形成薄膜的技术，用于制备金属薄膜或金属掺杂的薄膜。本操作规程的目的是规范MGD催化操作的步骤和条件，确保实验的可重复性和安全性。

二、操作步骤

1.实验前准备

a.配置金属有机配合物溶液，保证溶解完全。

b.准备好沉积基底，保证表面平整并清洁。

c.预热炉至所需温度。

2.炉管烘烤

a.将沉积基底放置在炉管中，保持适当的间距。

b.打开炉管的加热装置，逐渐升温至所需温度，保持一段